產品介紹

SFC5000系列氣體質量流量控制器產品描述

SFC5000系列氣體質量流量控制器有助于實現寬動態(tài)測量范圍內極其精確和可重復的控制。氣體質量流量控制器的出色性能基于Sensirion創(chuàng)新的CMOSens?技術，它在一個CMOS硅芯片上集成了高精度傳感器元件和模擬/數字信號處理電路。在芯片上，傳感器信號被直接轉換成完全校準，帶溫度補償的數字信號。該質量流量控制器具有模擬和數字接口。此外，它們實現了新的可選功能，如多氣體測量、氣體識別和自檢能力。SFC5000系列氣體質量流量控制器是整個工業(yè)和醫(yī)療市場各種應用的理想解決方案。

SFC5000系列氣體質量流量控制器特性

• 高精度和可重復性

• 優(yōu)異的長期穩(wěn)定性和可靠性

• 寬動態(tài)范圍（量程比1000:1）

• 超快氣體流量控制（穩(wěn)定時間小于50毫秒）

• 多氣體、多量程可選和氣體識別功能

• 數字和模擬接口

• 靈活的機械接頭選項：鈑金式安裝、VCR和VCO，Swagelok、C-/W-Seal等。

• 校準可追溯至NIST標準

• 源于創(chuàng)新CMOSens? 技術的杰出價值

• 可根據要求提供定制化產品

SFC5000系列氣體質量流量控制器應用領域

• 分析儀器（如氣相色譜、質譜）

• 醫(yī)療設備（如呼吸機、麻醉）

• 工業(yè)過程自動化（如涂層、熱處理）

• 半導體行業(yè)（如等離子蝕刻工藝、薄膜沉積）